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SEMICON Japan 2023
2023年12月13日（水）から15日（金）まで、東京ビッグサイトで「SEMICON Japan 2023」が開催されます。
大塚電子のブースでは新製品の「ラインスキャン膜厚計」「光波動場三次元顕微鏡」をはじめ、膜厚測定装置などを展示致します。
各種資料を取り揃えて、皆様のご来場をお待ちしております。
SEMICON Japan 2023
| ● 名 称 | |
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| ● 会 期 | 2023年12月13日（水）～15日（金） 10:00～17:00 |
| ● 会 場 | |
| ● 主 催 | |
| ● 入 場 | 招待券が必要 |
出展ブース 4ホール 4212
ウェーハの膜厚をラインスキャン方式で高速・高精度に測定
ラインスキャン膜厚計®【インラインタイプ】
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nｍオーダーの透明な異物・欠陥の評価が可能
光波動場三次元顕微鏡 MINUK
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300mmウェーハにも対応
顕微分光膜厚計 OPTM series
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ウェーハの研削研磨プロセスによる厚みを超高速・高精度に測定
分光干渉式ウェーハ厚み計 SF-3
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高速でリアルタイムにモニタリングが可能
マルチチャンネル分光器 MCPD-9800
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ウェーハの表面電位、研磨粒子の評価に最適
ゼータ電位・粒子径・分子量測定システム ELSZneo
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