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SEMICON Japan 2021
無事終了いたしました。 多数のご参加を頂き、誠にありがとうございました。
2021年12月15日（水）から17日（金）まで、東京ビッグサイトで「SEMICON JAPAN 2021」が開催されます。
| ● 名 称 | |
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| ● 会 期 | 2021年12月15日（水）～17日（金） 10:00～17:00 |
| ● 会 場 | 東京国際展示場（東京ビッグサイト） |
| ● 主 催 | |
| ● 入 場 料 | 無料 |
出展ブース 2638(東2ホール)
出展製品
半導体工場の膜厚ニーズに合わせたインテグレーション
ロードポート対応膜厚測定システム GS-300
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● 300mm EFFMユニット予備portへのインテグレーションに対応 |
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300mmウェーハにも対応
顕微分光膜厚計 OPTM series
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● 1ポイント1秒の高速測定でストレスフリーな測定を実現 |
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あらゆるウェーハのプロセスに最適
分光干渉式ウェーハ厚み計 SF-3
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● 高速測定（1ms以下）によりリアルタイムモニターに最適 |
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ウェーハの表面電位、研磨粒子の評価
ゼータ電位・粒子径・分子量測定システム ELSZneo
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● ウェーハ表面および研磨粒子のゼータ電位測定によりウェーハへの粒子吸着特性の評価が可能 |
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