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インライン分光計測システム -品質を向上する為に-

3.分光計測のための光学系

分光計測を行う為の光学系にはいくつかの種類がある。ここではその光学系をご紹介します(図7)。


(図7)

(1) 透過率計測

透過率計測の光学系としては、まずサンプルを挟んで、投光用のファイバーと受光用のファイバーを対向させ計測する系があります。次に、積分球を用いてサンプルを透過したすべての光を測定する系があります。積分球とは球の内面に硫酸バリウムなどの反射率および拡散性の高い材料をコーティングしたものです。


(2) 反射率(膜厚)計測

反射率計測の光学系としては、まず投光用ファイバーと受光用ファイバーを1つにまとめたY型ファイバーを用いて、サンプル面に対し光を垂直入射し、垂直に反射した光を計測する系があります。その中では、サンプル台に測定面を下にしてサンプルを設置し、下から光を照射するタイプと測定面を上にしてサンプルを置き、上から光を照射するタイプがあります。次に、角度を変えて計測する系があります。照射角度および測定角度を変えて計測することでサンプルの反射率の角度依存性を知ることができます。

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