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ロードポート対応膜厚測定システム GS-300

大塚電子はロードポートエリアにドッキングできる膜厚測定システムGS-300を用いて半導体製造設備から検査設備まで搬送の手間を省いたワンスルーのスタイルを提案します。

 

【 関連装置 】
 ・ロードポート対応膜厚測定システム GS-300

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