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技術セミナー2015 in 神奈川 無料

無事終了いたしました。 多数のご参加を頂き、誠にありがとうございました。

光を用いた各種分析装置を開発してきました大塚電子が、先端技術をサポートする分析装置と、その測定技術、応用例などについてセミナーを開催いたします。セミナーは3つのテーマをご用意しております。ご希望のセミナーのみのご参加も可能です。
是非、ご参加ください。

●名称

技術セミナー2015in神奈川

●日時

2015年6月10日(水) 13:00~16:45 (受付12:30~)

●会場

川崎市産業振興会館 9階 第3研修室
(JR川崎駅 西口北より徒歩8分)

〒212-0013 神奈川県川崎市幸区堀川町66番地20

●参加費

無料

●担当者

一原 , 永森
(TEL:042-644-4951 / FAX:042-644-4961)

技術セミナープログラム

受付開始 12:30~

【Seminar1】13:00~14:00

キャピラリー電気泳動測定のご紹介

キャピラリー電気泳動法は、高い分解能と分析の迅速さに加え、サンプル量や泳動液消費量が最小限で済む優れた分離分析方法です。
 高価なカラムを使用せず、陽イオン、陰イオン、有機酸、金属イオン、アミノ酸、糖、タンパクなど幅広い成分を1台の装置で分析可能です。 その原理や最新アプリケーションについてご紹介します。

【Seminar2】14:00~15:15

〈新製品〉粒径・ゼータ電位・分子量測定システム ELS-2000seriesのご紹介

粒径、ゼータ電位は、ナノテク技術(分散・凝集、表面改質)の評価に重要なパラメータです。希薄溶液から懸濁溶液まで幅広い濃度範囲で測定可能です。 コロイド粒子、エマルションの評価以外に、フィルム、ウエハなど平板状試料の表面電位評価や、新たに高分子の分子量測定まで可能となりました。 その原理や最新アプリケーションについてご紹介します。

【休憩・質疑応答】15:15~15:45

【Seminar3】15:45~16:45

膜厚測定のご紹介(分光干渉法)

半導体を中心として発展してきた分光干渉法は、今やフィルム材料、FPD材料、耐摩耗性DLCなど様々な分野で適用され、従来の枠組みを超えて活用されてきております。
 本講演では、分光干渉法による膜厚測定の原理を説明するとともに、大塚電子が培ってきたアプリケーション、経験ノウハウの他、最先端市場として注目を浴びるパワー半導体向けの厚み測定についてご紹介します。
 

関連製品

【キャピラリー電気泳動】
陽イオンや陰イオンなど異なる成分を一台の装置で分析可能

●キャピラリ電気泳動装置 Agilent 7100

陽イオンや陰イオンなど異なる成分を一台の装置で分析が可能です。
微量サンプルで短時間・高分解能な分析が可能です。

 光源  長寿命重水素ランプ (RFIDタグ付き)
 検出器  リアルタイム UV-Vis ダイオードアレイ検出器
 測定波長範囲  190 ~ 600 nm
 測定精度  1 nm
 泳動電源  電圧範囲 : 0 ~ ±30kV 、 電流 : 0 ~ 300μA 、 電力 : 0 ~ 6W
 定電圧、定電流、または低電力で動作。プログラムにより極性逆転可能
 電源  AC100 ~ 240V 、 50/60Hz 、 300VA
 寸法(WDH)  350×590×510 mm
 重量  35 kg

 

【ゼータ電位・粒径・分子量測定システム】
従来からの希薄溶液~濃厚溶液でのゼータ電位・粒子径測定に加え、分子量測定も可能な装置

●ゼータ電位・粒径・分子量測定システム ELSZ-2000series

従来からの希薄溶液~濃厚溶液でのゼータ電位・粒子径測定に加え、分子量測定も可能な装置です。
粒子径測定範囲(0.6nm~10μm)、濃度範囲(0.00001%~40%)に対応。電気浸透流を実測し、高精度なゼータ電位測定を可能とした最小容量130μL~のディスポーザブルセルで測定が可能です。
また新たに0~90℃の幅広い温度範囲で、自動温度グラジエント測定をおこない変性・相転移温度解析が可能です。
 
●測定項目
 ゼータ電位  -200 ~ 200 mV
 電気移動度  -20×10 -4 ~ 20×10 -4 cm2/V・s
 粒子径  0.6 nm ~ 10000 nm
 分子量  360 ~ 2000×104

 

●測定範囲

 

 測定温度範囲  0 ~ 90℃
 測定濃度範囲  粒子径:0.00001 % (0.1ppm) ~ 40 % *1
 ゼータ電位:0.001%~40%

*1(Latex112nm: 0.00001 ~ 10%、タウロコール酸: ~ 40%)

 

【濃厚系粒径アナライザー】
従来からの希薄溶液~濃厚溶液でのゼータ電位・粒子径測定に加え、分子量測定も可能な装置

●濃厚系粒径アナライザー FPAR-1000

FPARとオートサンプラーの組み合せで、50検体までの試料について粒子径の自動測定が可能です。
サンプル量が1mlで、安価なディスポセルを用いての測定が可能です。
 

FPAR-1000仕様
 光源  半導体レーザー
 検出器  光電子増倍管(フォトンカウンティング方式)
 サンプル温調範囲  10 ~ 70℃
 温調方式  電子式冷却素子、ヒーター
 プローブ洗浄方式  超音波洗浄
 電源  AC100V ± 10%50/60Hz 300VA
 寸法(WDH)  320(W)×507(D)×284(H)
 重量  約 22 kg

【膜厚モニター】
高精度な光干渉法による膜厚測定を簡単操作で実現した小型で低価格な膜厚計

●膜厚モニター FE-300

高精度な光干渉法による膜厚測定を簡単操作で実現した小型で低価格な膜厚計です。
必要な機器を本体部に収納したオールインワンタイプの筺体を採用し、安定したデータの取得を実現しました。
低価格でありながらも絶対反射率の取得により、光学定数の解析も可能です。
 

仕 様
型式 FE-300V FE-300UV FE-300NIR*1
全体 標準測定タイプ 薄膜測定タイプ 厚膜測定タイプ 厚膜測定タイプ
 (高分解能)
サンプルサイズ 最大8インチウェハ(厚さ5mm)
測定膜厚範囲
 (nd)
100nm~40μm 10nm~20μm 3μm~300μm 15μm~1.5mm
測定波長範囲 450nm~780nm 300nm~800nm 900nm~1600nm 1470nm~1600nm
膜厚精度 ±0.2nm以内*2 ±0.2nm以内*2 - -
繰り返し精度 0.1nm以内*3 0.1nm以内*3 - -
測定時間 0.1s~10s以内
スポット径 約φ3mm
光源 ハロゲン 重水素とハロゲンの混合 ハロゲン ハロゲン
インターフェイス USB
寸法、重量 <280(W)×570(D)×350(H)mm、約24kg
ソフトウェア        
標準 ピークバレイ解析、FFT解析、最適化法解析、最小二乗法解析
オプション 材料評価ソフトウェア、ポスト解析ソフトウェア、膜モデル解析、リファレンスプレート

*1 詳細はお問合せください
*2 VLSI社製膜厚スタンダード(100nm SiO2/Si)の膜厚保証書記載の測定保証値範囲に対して
*3 VLSI社製膜厚スタンダード(100nm SiO2/Si)の同一ポイント繰り返し測定時における拡張不確かさ(包括係数 2.1)

【マルチチャンネル分光器】
紫外から近赤外領域対応の多機能瞬間マルチ測光検出器

●マルチチャンネル分光器 MCPD-6800

MCPD-6800は、分光計測・分析のための基本システムです。 瞬時に分光スペクトルの測定ができ、自由に組み上げられる測定光学系と豊富なオプション類により、さまざまな目的に応じてシステムアップができます。測定波長範囲は4タイプより選択できます。

仕様
型式 MCPD-6800
2285C 3095C 3683C 3610C
測定波長範囲(mm) 220~850 300~950 360~830 360~1100
分光器 フラットフィールド型
検出素子
(ch)
電子冷却型フォトダイオードアレイ
512 512 512 512
1素子当たりの波長幅
(nm/素子)
1.5 1.5 1.1 1.7
オプティカルファイバー 石英製ファイバー、口金φ12mm、長さ約2m
スキャン時間 16ms~65s
通信インターフェース USB、またはLAN
消費電力、電源電圧 100V/200V、100VA
寸法、重量 105(W)×215(H)×280(D)mm、約5.5kg*

*本体のみ

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