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第6回 高機能フィルム展 ~フィルムテック ジャパン~

無事終了いたしました。 多数のご参加を頂き、誠にありがとうございました。

4月8日(水)から10日(金)まで、東京ビックサイトで「第6回 高機能フィルム展 ~フィルムテック ジャパン~」が開催されます。

本展示会では、さまざまな分野で利用される高機能性フィルムの光学特性評価装置を展示・紹介します。
今回は、反射率スペクトルをリアルタイムに測定可能な「組み込み型膜厚モニター FE-3/SF-3」と、最速0.025秒(40Hz)の高速タクトタイムを実現した「インライン高速リタデーションモニター RE-200」をご紹介します。また、お客様の用途に応じて最適なインライン測定装置をご提案します。

お客さまが求める製品の実現に向けて、弊社の光計測技術が多様なニーズにお応えします。ぜひ弊社ブース(16-27)へお立ち寄りください。

出展ブース 東16-27(東2ホール)

出展ブース 東16-27(東2ホール)

出展製品

【 膜厚評価 】
  多層膜の膜厚・膜質解析を高速・高精度で実現!

● 反射分光膜厚計 FE-3000

反射分光膜厚計 FE-3000

マルチチャンネル検出器による高速性と、顕微光学系による多機能を付加した光干渉式膜厚測定システムです。紫外可視域から近赤外域までの顕微反射スペクトルにより、多層薄膜から厚膜まで幅広いレンジの膜厚測定を高速・高精度で実現します。半導体材料、FPD材料、光記憶材料、新機能性材料など、多様化する各種膜厚、膜質解析にお応えします。

 測定波長範囲  230nm ~ 1600nm *
 測定膜厚範囲  1nm ~ 1mm *
 検出器  PDA、CCD、InGaAs
 測定項目  絶対反射率測定、多層膜厚解析、
 光学定数解析(n:屈折率、k:消衰係数)

* 仕様により測定膜厚範囲および測定波長範囲は異なります

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インライン計測システム

トラバースタイプ
弊社のコア技術である分光計測技術を最大限活用することで、製品品質の評価方法から製造ラインでの品質管理方法、さらに生産現場での用途や生産ライン状況に応じた最適な品質評価方法をご提案します。
(写真:トラバースタイプ)
 
タッチパネル、ITO、電子ペーパ、太陽電池用シート、燃料電池用フィルム、包装用フィルム、偏光フィルム、ARフィルム、位相差フィルム、フォトマスク、ガラス、代替樹脂など

【 膜厚測定 】
  製造ライン上でリアルタイム測定!遠隔測定・多点測定に対応。

● 組み込み型膜厚モニター FE-3

● 組み込み型膜厚モニター FE-3

ファイバープローブを介して反射率スペクトルを測定し、膜厚を計測するシステムです。検出器部は可視光を測定する連続波長測定分光器です。測定光源部は可視光を照射する白色LEDを採用しています。

 測定膜厚範囲  20nm~200μm
 測定波長範囲  430nm~1600nm
 測定項目  絶対反射率測定、多層膜厚解析(5層)、
 光学定数解析(n:屈折率、k:消衰係数)

 

【 Re.評価 】
  最短0.025秒(40Hz)の速さで低Re.と主軸方位角の同時測定を実現!

● 高速リタデーション測定装置 RE-200

● 高速リタデーション測定装置 RE-200

偏光計測モジュールを用いた計測システムです。低リタデーションサンプルのリタデーションおよび主軸方位角を同時にかつ高速で測定できます。形状がコンパクトであり、高速測定が可能なことから、フィルムや光学材料のインライン測定に最適です。

 検出波長  550nm(他選択可能)
 検出器  偏光計測モジュール
 測定項目  リタデーション測定(測定範囲:0nm ~ 1μm)、
 主軸方位角度、楕円率・方位角、三次元屈折率など

 

【 透過反射 】
  紫外・可視・近赤外!広い波長域と用途に合わせた自由な光学系をご提案

● 瞬間マルチ測光システム MCPD-9800/6800/7700

瞬間マルチ測光システム MCPD-9800/6800/7700

偏光計測モジュールを用いた計測システムです。低リタデーションサンプルのリタデーションおよび主軸方位角を同時にかつ高速で測定できます。形状がコンパクトであり、高速測定が可能なことから、フィルムや光学材料のインライン測定に最適です。

 検出波長  220nm ~ 1600nm
 検出器

 電子冷却型CCDイメージセンサ
 電子冷却型InGaAsリニアイメージセンサ

 測定項目  発光スペクトル測定、蛍光スペクトル測定、
 透過・吸収スペクトル測定、反射スペクトル測定

 

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