洗浄液のイオン分析（Agilent 7100）

概要

洗浄工程では洗浄液自体に異物が無いかの分析が必要とされます。
洗浄液は高濃度の薬液（フッ酸、過酸化水素など）を使用しているため、HPLCを用いた測定ではカラムがすぐに消耗します。
キャピラリー電気泳動法はカラムを必要とせず、簡単に洗浄液を分析できます。

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