概要
ウェーハ面内のウェーハ厚さ分布を専用のマッピングシステムを用いることによって提供いたします。
SF-3シリーズは、安定したウェーハ厚み分布を提供し、ウェーハ厚さの品質向上に貢献します。
活用例
研磨後ウェーハ厚み測定
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