概要
自動車部品には燃費改善のために駆動系（バルブリフター、カムシャフト）や 燃料系（バルブ、プランジャー）に代表されるさまざまな部品にDLCコーティングがなされています。 従来は製膜時にテストピースを作り、破壊検査で評価されていましたが、OPTMを用いることで、実ワークのピンポイントの部分の膜厚を非破壊で測定することが出来ます。 また、膜厚と同時に測定されるnkを指標にとることで硬さ等他のパラメータを膜質として評価することができます。
データ
図１． DLCコーティング膜の反射率
図２． DLCコーティング膜の屈折率と消衰係数
屈折率と密度には密接な関係があり、屈折率が高いほうが硬い膜になる傾向があります。その他に結晶構造や含有する材料により摩擦係数・密着性等が変わります。それはそれぞれnkに影響します。いつもと同じnkであることをもって、同じ膜質のDLCができていることを確認できます。
上図は３つのワークを測定したnk結果から、予め設定したしきい値（OK範囲）に対してOK-NG判定を行った結果、②のサンプル以外は良い膜ができていないことを示してます。
