分光干渉式ウェーハ厚み計 SF-3 マッピング
分光干渉式ウェーハ厚み計
SF-3のマッピングをご紹介します。
300 mmウェーハ対応
マッピングシステム
- 微細パターンをアライメントし、ウェーハ厚みや各種厚み情報を提供
- 高精度X-Y位置決めステージ（±2μm以下）を実装し、高精度な位置決めを実現
- ウェーハ形状以外にも対応可能
- 測定ポイント周辺の視野を確認可能
- 半導体向け300mmウェーハ対応
- MEMSやセンサーデバイス対応
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