膜厚測定システム
応用
- フィルム、塗布膜、保護膜の膜厚
- ウェーハ上、ガラス基板上、アルミ基板上の膜厚
顕微分光測定システム
応用
- 顕微鏡下での微小スポット測定（反射・透過・吸収）
- 膜厚測定（フィルム、各種基板上の膜、保護膜）
多点測定システム
応用
- 反射防止膜の反射率測定
- コーティングフィルムの膜厚測定
- 各種基板上の膜厚測定
トラバース機対応システム
応用
- 反射防止膜の膜厚および反射率測定
- 機能性フィルムの品質管理
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