分光エリプソメータ FE-5000 series 原理
分光エリプソメータ
FE-5000 seriesの原理をご説明します。
原理
原理
試料にs波とp波を含む直線偏光を入射し、その反射光の楕円偏光を測定します。
s波とp波は位相と振幅が独立に変化して、試料に依存した2種類の偏光の変換パラメータであるp波とs波の反射率の比tanψおよび位相差Δが得られます。
tanψ、consΔはエリプソパラメータと呼ばれており、分光エリプソメトリーではこの2つのパラメータの波長依存スペクトルが測定されます。
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