超高速分光干渉式厚み計 測定例

超高速分光干渉式厚み計の測定例をご紹介します。

サポートウェーハ付き
仮貼り合わせウェーハ

超高速分光干渉式厚み計 測定例 サポートウェーハ付き仮貼り合わせウェーハ

マッピング結果

研削後300mmウェーハシリコン厚み

超高速分光干渉式厚み計 測定例 マッピング結果

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