第17回 FILMTECH JAPAN - 高機能フィルム開発・製造展

透明体の傷や異物を可視化・定量化

• nｍオーダーの透明な異物・欠陥の評価が可能
  
• 1ショットで瞬時に深さ方向の情報を取得
  
• フォーカス不要で高速測定が可能
  
• 非破壊・非接触・非侵襲で測定が可能

分光干渉式を採用　フィルムの全面検査を実現

膜厚：0.1μm ～ 300μm（膜厚値はn=1.5のフイルム換算）

• 「抜け」のない全面フィルム検査を実現
  
• バタつきに強い光学系を採用
  
• 高速・高精度に測定が可能

生産ラインにおいて高精度にフィルムを評価

• 分光干渉式膜厚計
  オプティカルファイバーにより自由なシステムの構築が可能

微小エリアで多層フィルムを高精度に測る機能搭載

膜厚：1nm ～ 92μm（膜厚値はSiO2換算）

• 裏面の影響を受けない光学設計
  
• 1ポイント1秒以内の高速測定
  
• 屈折率・消衰係数も解析可能
  
• 300㎜ステージ対応可能

高精度で持ち運び可能な膜厚計

膜厚：0.1～ 100μm（サンプル屈折率が1.6の場合）

• 生産現場に持っていけるハンディタイプ
  
• 最薄0.1 μｍまで検量線不要で測定可能
  
• 3層までの多層膜を測定可能
  
• 形状のあるサンプルも非破壊で測定可能

あらゆるフィルムに対応した高精度リタデーション測定

リタデーション：0 ～ 60,000nm

• 超複屈折フィルムを高速・高精度に測定
  
• 多層を剥がさず非破壊で測定
  
• 軸角度補正機能によりサンプルのズレなし
  
• かんたんソフトウェアにより操作性ＵＰ