第12回 FILMTECH JAPAN［大阪］
- 高機能フィルム展 -

透明体の傷や異物を可視化・定量化

• nｍオーダーの透明な異物・欠陥の評価が可能
  
• 1ショットで瞬時に深さ方向の情報を取得
  
• フォーカス不要で高速測定が可能
  
• 非破壊・非接触・非侵襲で測定が可能
  
• 任意の面を高速でスキャンし測定位置の決定が容易

分光干渉式を採用　
フィルムの全面検査を実現

膜厚：0.1μm ～ 300μm

分光干渉式を採用　
フィルムの全面検査を実現

• プロセス中の薄膜高速測定に最適
  
• 最短露光時間1ms～　※仕様による
  
• リモート測定に対応
  
• 膜厚測定範囲65nm～92μm（SiO2換算）

フィルムのコーティング膜　
膜厚を高速・高精度測定

膜厚：1nm ～ 92μm

• 透明基盤において裏面処理不要
  
• 薄膜でも高精度な光学定数
  
• 測定ポイントの位置決めが簡単
  
• 多層膜でも解析できる

あらゆるフィルムに対応した
高精度リタデーション測定

リタデーション：0 ～ 60,000nm

• 超高リタデーション測定|超複屈折フィルムを高速・高精度に測定できる
  
• 多層測定|剥がさず非接触で様々なフィルムの積層状態を
  測定できる