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【特別セミナー　MEMSの最新動向】
（2022年4月）

MEMSはMicro Electro Mechanical Systemsの略記であり、微小電気機械システムを意味する。普段からスマートフォンの便利な機能を支えているのは，MEMSである。まず、マイクロフォンは須くMEMSである。しかも、マイクロフォンは多くのスマートフォンで4つくらい使われており、ノイズキャンセリング機能を提供している。重力を感知して画面を正しい方向に向けたり、「シェイク」を感知したり、歩数を数えたりしているのは、MEMS加速度センサーである。加速度センサーは、MEMSジャイロセンサーと協調してカメラの手ぶれ防止、ナビゲーション、ゲームなどにも使われている。MEMS気圧センサーによって階段の昇り降りの一段一段だってわかる。一部の指紋センサーもMEMSである。そもそもスマートフォンの無線通信システムにもMEMSが使われている。無線通信に使える周波数は厳格に割り当てられており、その周波数帯をバンドと呼ぶ。現在、50を下らないバンドが使われているが、スマートフォンの中でバンドを選ぶ弾性波フィルターの1方式には、MEMS技術が用いられている。もちろん、MEMSが使われているのはスマートフォンだけではない。TWS（True Wireless Stereo）イヤホン、スマートウォッチ、AI（Artificial Intelligence）スピーカー、自動車、家電機器、ドローン、ロボットなど枚挙にいとまがない。本セミナーでは、このようなMEMSを概観し、各MEMSがどのように動いているのか、どのように作られるのか、その勘所はどこにあるのかなどを解説する。また、今後、実用化が期待される新しいMEMSも紹介する。

大塚電子の膜厚測定装置についてご紹介します。

本セミナーは「Microsoft Teams」を使用します。 参加申込みいただいた方に、後日視聴用URLをご連絡いたします。
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