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お探ししているの膜厚計は主にどのような使用目的でしょうか?
インライン(検査)
研究開発
品質管理
わかりません
測定対象は光が通りにくいものでしょうか?
はい
いいえ
わかりません
サンプルを測定ステージに手置きし、面内マッピング測定希望でしょうか?
それとも走行搬送中での測定希望でしょうか?
手置き
走行搬送中
ガラス基材の厚み測定でしょうか?それとも基材上の膜の厚み測定でしょうか?
基材も膜も測定したい
基材
膜
ガラス基材の厚み測定でしょうか?それとも基材上の膜の厚み測定でしょうか?
基材
膜
わかりません
スポットサイズは1mm以下をご希望でしょうか?
はい
いいえ
わかりません
膜厚全面抜けの無い検査を希望でしょうか?
はい
いいえ
わかりません
ガラス面内の膜厚分布(例:ARコート、ハードコートなど光学機能性膜)を高速測定可能な装置です。顕微分光を用いた微小領域での絶対反射率測定により、高精度な膜厚・光学定数解析が可能な装置です。
ガラス上の光学材料などのコーティング膜の厚みや多層膜を非破壊・非接触で測定できます。測定時間は1秒/ポイントの高速測定が可能です。また初めての方でも簡単に光学定数の解析ができるソフトウェアを搭載しています。
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偏光解析(エリプソパラメータ取得(tanψ、cosΔ))や1nm以下の膜厚の測定をご希望でしょうか?
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いいえ
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はい
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はい
いいえ
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はい
いいえ
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はい
いいえ
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可搬型(ハンディタイプ)をご希望ですか?
はい
いいえ
わかりません
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はい
いいえ
わかりません
可搬型(ハンディタイプ)をご希望ですか?
はい
いいえ
わかりません
スポットサイズは1mm以下をご希望でしょうか?
はい
いいえ
わかりません
1nm前後の厚み測定であればOPTMで測定出来る可能性が十分ございます。
使い勝手のいいOPTMシリーズはいかがでしょうか?
ガラス面内の膜厚分布(例:ARコート、ハードコートなど光学機能性膜)を高速測定可能な装置です。顕微分光を用いた微小領域での絶対反射率測定により、高精度な膜厚・光学定数解析が可能な装置です。
ガラス上の光学材料などのコーティング膜の厚みや多層膜を非破壊・非接触で測定できます。測定時間は1秒/ポイントの高速測定が可能です。また初めての方でも簡単に光学定数の解析ができるソフトウェアを搭載しています。
偏光解析や1nm以下の膜厚の測定をご希望でしょうか?
偏光解析や1nm以下の膜厚の測定をご希望でしょうか?
はい
いいえ
下記リンクよりお客様のサンプル情報(基材・測定対象膜の材質及びおおよその厚み)をご入力いただければ、
測定の可否および最適な機種について改めてご連絡させていただきます。
お問い合わせ
光学式により、生産ラインにおいても非接触・非破壊でのガラス基板厚み測定が可能であり、長いWD(ワークディスタンス)を実現し、機器の組み込みが可能です。ガラス基板の膜厚測定に最適で、散乱性の強いサンプルの測定も可能です。
下記リンクよりお客様のサンプル情報(基材・測定対象膜の材質及びおおよその厚み)をご入力いただければ、
測定の可否および最適な機種について改めてご連絡させていただきます。
お問い合わせ
光学式により、製造工程においても非接触・非破壊でのガラス基材厚み測定が可能であり、機器の組み込みが可能です。モデルにより幅広い膜厚測定に最適で、散乱性の強いフィルムの測定も可能です。
ガラス面内の膜厚分布(例:ARコート、ハードコートなど光学機能性膜)を高速測定可能な装置です。顕微分光を用いた微小領域での絶対反射率測定により、高精度な膜厚・光学定数解析が可能な装置です。
ガラス上の光学材料などのコーティング膜の厚みや多層膜を非破壊・非接触で測定できます。測定時間は1秒/ポイントの高速測定が可能です。また初めての方でも簡単に光学定数の解析ができるソフトウェアを搭載しています。
下記リンクよりお客様のサンプル情報(基材・測定対象膜の材質及びおおよその厚み)をご入力いただければ、
測定の可否および最適な機種について改めてご連絡させていただきます。
お問い合わせ
光学式により、生産ラインにおいても非接触・非破壊でのガラス基板厚み測定が可能であり、長いWD(ワークディスタンス)を実現し、機器の組み込みが可能です。ガラス基板の膜厚測定に最適で、散乱性の強いサンプルの測定も可能です。
下記リンクよりお客様のサンプル情報(基材・測定対象膜の材質及びおおよその厚み)をご入力いただければ、
測定の可否および最適な機種について改めてご連絡させていただきます。
お問い合わせ
顕微分光膜厚計OPTM seriesの高精度、微小スポットを生かし、ガラス基板上のパターン作成後の微小エリア測定など、インラインで膜厚情報を提供します。
ポイントセンサーとラインセンサーの違いについては
Webで学ぶ「ラインスキャン膜厚計によるインライン膜厚計測」の
「従来の検査システムとの違いとメリット」をご参照ください。
詳しくはこちら
生産現場においてガラス面内のの膜厚分布(例:ARコート、ハードコートなど光学機能性膜)を漏れなく2次元測定できる装置です。独自の分光干渉法に新たに開発した高精度膜厚演算処理技術を組み合わせることで、最短0.001秒毎の測定間隔で500mm幅(1台使用時)の膜厚測定が可能です。
マルチチャンネル分光器(MCPD)、投受光用Y型ファイバー、そして豊富なオプションユニットの組み合わせによりインライン膜厚測定(基材厚み:PET、PEN、TAC、PP、PC、PE、PVAなど および各種基材上のコート膜)に対応いたします。ファイバーのTD方向へのトラバース駆動による検査、あるいはファイバーの多点切替測定も可能です。フィルム製造工程における膜厚のリアルタイムモニターとしてお使いいただけます。
1nm前後の厚み測定であればOPTMで測定出来る可能性が十分ございます。
使い勝手のいいOPTMシリーズはいかがでしょうか?
ガラス面内の膜厚分布(例:ARコート、ハードコートなど光学機能性膜)を高速測定可能な装置です。顕微分光を用いた微小領域での絶対反射率測定により、高精度な膜厚・光学定数解析が可能な装置です。
ガラス上の光学材料などのコーティング膜の厚みや多層膜を非破壊・非接触で測定できます。測定時間は1秒/ポイントの高速測定が可能です。また初めての方でも簡単に光学定数の解析ができるソフトウェアを搭載しています。
紫外可視(300~800nm)の波長領域でのエリプソパラメータ(tanψ、cosΔ)測定が可能なため、高精度な薄膜解析が可能です。測定角度の自動可変機構を実装させることにより、あらゆる種類の薄膜にも対応しております。従来の回転検光子法に加え、位相差板の自動脱着機構を設けることにより、測定精度を向上させました。
高精度な薄膜解析が可能な分光エリプソメトリーに加え、測定角度の自動可変機構を実装させることにより、あらゆる種類の薄膜にも対応しております。従来の回転検光子法に加え、位相差板の自動脱着機構を設けることにより、測定精度を向上させました。
OPTMシリーズの自動XYステージ仕様では精密な面内マッピング測定も可能です。
OPTMシリーズはいかがでしょうか?
ガラス面内の膜厚分布(例:ARコート、ハードコートなど光学機能性膜)を高速測定可能な装置です。顕微分光を用いた微小領域での絶対反射率測定により、高精度な膜厚・光学定数解析が可能な装置です。
ガラス上の光学材料などのコーティング膜の厚みや多層膜を非破壊・非接触で測定できます。測定時間は1秒/ポイントの高速測定が可能です。また初めての方でも簡単に光学定数の解析ができるソフトウェアを搭載しています。
ガラスへの製膜(例:ITO、Resist、各種表面処理、各種光学材料など)の研究開発や品質管理の抜き取り検査に、オフラインで簡単に漏れなく2次元測定できる装置です。全面を高速かつ高精度に測定可能です。
膜厚測定は専用装置化されたほうが使い勝手がいい場合もあります。
膜厚測定専用の装置であればOPTMシリーズはいかがでしょうか?
ガラス面内の膜厚分布(例:ARコート、ハードコートなど光学機能性膜)を高速測定可能な装置です。顕微分光を用いた微小領域での絶対反射率測定により、高精度な膜厚・光学定数解析が可能な装置です。
ガラス上の光学材料などのコーティング膜の厚みや多層膜を非破壊・非接触で測定できます。測定時間は1秒/ポイントの高速測定が可能です。また初めての方でも簡単に光学定数の解析ができるソフトウェアを搭載しています。
マルチチャンネル分光器(MCPD)、投受光用Y型ファイバー、そして豊富なオプションユニットの組み合わせによりインライン膜厚測定(例:ARコート、ハードコートなど光学機能性膜)に対応いたします。各種サイズのガラス基板に対応したステージもご用意しております。膜厚以外にも反射透過特性など光学評価のご提案も可能です。
高精度な光干渉法による膜厚測定を簡単操作で実現した小型で低価格な膜厚計です。
必要な機器を本体部に収納したオールインワンタイプの筺体を採用し、安定したデータの取得を実現しました。(測定例:ITO、Resist、各種表面処理、各種光学材料など)低価格でありながらも絶対反射率の取得により、光学定数の解析も可能です。
スマート膜厚計は下記のような特徴があり、皆様のお困りごとを解決します。
・ 現場に持っていけるハンディタイプ
・ ハンディタイプでも高精度な測定ができる
・ウェットな膜や半導体ウェーハのように接触したくないサンプルは
プローブの位置を自由に設定して非接触で測定が可能(オプション)
測定例:酸化膜、離型剤コート、防水防湿コートなど
マルチチャンネル分光器(MCPD)、投受光用Y型ファイバー、そして豊富なオプションユニットの組み合わせによりガラス基材やガラスへの製膜(例:ITO、Resist、各種表面処理、各種光学材料など)の膜厚測定に対応いたします。
膜厚計おすすめ機種診断
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