Close
スマート膜厚計 SM-100 series
|
|
高精度で持ち運び可能な膜厚計
|
|
|
- 製品情報
- 仕様
- 測定対象
- オプション
製品情報
- 「持ち運び可能なハンディタイプ」1.1 kgと軽く、持ち運びも簡単
- 「高精度測定＆簡単測定」最薄0.1 μｍまで検量線不要で測定可能
- 「多層膜も対応」3層までの多層膜を測定可能
- 「非破壊・非接触測定」サンプルを傷つけることもなく測定可能
- 「様々なサンプルを測定」基材（ガラス・プラスチック）を選ばず測定可能
①小型の分光器
②小型の白色光源
③コンピュータを装置に内蔵
従来はPCでの解析だが…
- 解析
- 表示
- 操作
をタッチパネルで可能に！
④バッテリー駆動
⑤リファレンスミラー
⑥付け替え可能なプローブ
- メリット
- 今まで持っていけなかった場所に持っていける！
- 理 由
- 分光器の小型化、バッテリー騒動 等々
-
Scene1：出張先
-
Scene2：生産ライン
-
Scene3：動かせないもの
- メリット
- 専門知識が不要でオペトレも不要！
-
理由 ①組み立てが不要で、開けてすぐ使用できる
セットされた状態 -
理由 ②プローブをサンプルに当てるだけで測定できる
簡 単 -
理由 ③タッチパネルでの操作で直感的に動かせる
自分で設定が
少ない！
- メリット
- 0.1um単位で緻密な測定ができる
- 理 由
- 分光干渉式を採用している
原理基板上にコーティングされた膜を測定
上方から入射した光は
・膜表面で反射
・膜を透過した光が基板や膜界面で反射
このとき
光路差による位相のズレによって起こる
光干渉現象を測定
得られた反射スペクトルと屈折率から膜厚を求める
- メリット
- ①大きなサンプルを測定できる
②非破壊で測定できる
③様々な形状のサンプルを測定できる
- 理 由
- プローブをあてる測定だから
従来の卓上装置には
乗せることができない大きさでも大丈夫
- 切り出さなくていい
- 挟んだり、抑えたりなどの圧を加えなくていい
- メリット
- ①様々な形状のサンプルを測定できる
②大きなサンプルを測定できる
③非破壊で測定できる
- 理由
- サンプルに合わせたプローブに変えられる
-
プローブ①：標準プローブ
平面上のサンプルに使用
（Ex.）フィルム、単純な形状のもの
-
プローブ②：ペン型プローブオプション
狭い箇所や形状があるサンプルに使用
（Ex.）フィルム、単純な形状のもの
-
プローブ③：非接触ステージオプション
接触したくないサンプルに使用
（Ex.）ウェットな膜、半導体ウエハ
仕様
| 項目 | Pro | Standard |
| 型式 | SM-100P | SM-100S |
| 測定方式 | 反射分光法（光干渉法） | |
| 測定膜厚範囲*1 | 0.1～100μm（単層） １～100μm（多層） |
1～50μｍ（単層） |
| 多層対応 | 最大3層 | 1層 |
| 測定繰り返し性 | 2.1σ 0.01μｍ（シリコン酸化膜１μｍ） | |
| 測定スポット径 | Φ1ｍｍ以下 | |
| データ出力形式 | USBメモリにテキスト形式でエクスポート | |
| 本体サイズ | 約138（W）×198（D）×61（H）mm ※突起部を含む |
|
| 重量 | 約1.1kg | |
| 駆動時間 | 4時間 以上(測定中） | |
| 電源電圧/電力 | AC100-240V/35VA（ACアダプタ入力） | |
| 保護等級 | IP30/IK06 | |
＊１ サンプル屈折率が1.6の場合
測定対象
・光学フィルム
・コーティング膜
（反射防止膜・接着層など）
・半導体
（酸化膜・レジスト膜など）
・各種フィルム
（食品用フィルム・医療用フィルム・建材用フィルムなど）
オプション
狭い箇所や形状があるサンプルでも測定可能
ウェットな膜や半導体ウェーハのように接触したくないサンプルを、プローブの位置を自由に設定して非接触で測定が可能
- 製品情報
- 仕様
- 測定対象
- オプション
関連情報
関連製品
|
|
顕微分光膜厚計 OPTM series |
|
|
組込み型膜厚モニター |
|
|
マルチチャンネル分光器 MCPD-9800/6800 |
|
|
分光エリプソメータ FE-5000 series |
|
|
分光干渉式ウェーハ厚み計 SF-3 |
ホーム
