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【入門】分光法による膜厚解析
7.おわりに
現在、弊社では、より薄い膜から厚い膜まで幅広いレンジの膜厚測定のニーズにお答えするため、紫外、可視、赤外の光を駆使し、1nmから10mmまで測定できるラインナップをご用意しております。
また、解析アルゴリズムについては、最新技術のニーズに答えるため日々、改良開発に取り組んでいます。
関連製品
| 顕微分光膜厚計 OPTM series | |
| 膜厚モニター FE-300F | |
| 組込み型膜厚モニター | |
| 分光エリプソメータ FE-5000 series |
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