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ホーム > 製品情報：分光計測機器 > FPD関連評価機器 > 膜厚検査システム > 膜厚測定システム　FE-3700/5700

膜厚測定システム　FE-3700/5700

進化しつづけるFPDの製造工程で各種薄膜を評価･分析

　

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製品情報

特　長

さまざまなガラス基板上の各種薄膜の膜厚や光学定数を、高速かつ高精度に測定できます。次世代サイズを含む大型ガラス基板に対応するほか、LCD、TFT、や有機ELにも対応します。

 

用　途
  • LCD
    ITO/Glass、PI/OC/Glass、CF/Glass、Resist/Glass
  • TFT
    SiN/a-Si/Glass
  • 有機EL
    有機EL/ITO/Glass
  • PDP
    誘電体層/Glass

 

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