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膜厚測定システム FE-3700/5700
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進化しつづけるFPDの製造工程で各種薄膜を評価･分析
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特 長
さまざまなガラス基板上の各種薄膜の膜厚や光学定数を、高速かつ高精度に測定できます。次世代サイズを含む大型ガラス基板に対応するほか、LCD、TFT、や有機ELにも対応します。
用 途
- LCD
ITO/Glass、PI/OC/Glass、CF/Glass、Resist/Glass - TFT
SiN/a-Si/Glass - 有機EL
有機EL/ITO/Glass - PDP
誘電体層/Glass
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