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無事終了いたしました。
多数のご来場を頂き、誠にありがとうございました
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「AEC/APC Symposium Asia（AEC: Advanced Equipment Control / APC: Advanced Process Control）」は、 半導体メーカーと装置、材料、ソフトウエア、センサー、メトロロジーメーカーが一堂に会し、装置・プロセスの自動診断・最適化などを通じて、よりインテリジェントで高効率な生産システムの構築を議論する国際会議です。
併設の展示会は、フォーカスした領域の専門家にむけて、新しい技術、装置、システム技術をアピールする場として開催されます。弊社ブースでは、膜厚評価装置をはじめ、その他半導体関連装置をパネル展示にてご紹介いたします。
ぜひ弊社ブースへお立ち寄りください。
併設の展示会は、フォーカスした領域の専門家にむけて、新しい技術、装置、システム技術をアピールする場として開催されます。弊社ブースでは、
| ●名 称 | |
| ●日 時 | 2007年11月29日（木）～30日（金） |
| ●会 場 | |
| ●主 催 |
| 【 膜厚測定 】 マルチチャンネル検出器による高速性と、顕微光学系による多機能性を付加した光干渉式膜厚測定システム |
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| ●反射分光膜厚計 FE-3000 ■ 広い波長域により多層薄膜から厚膜まで幅広いレンジの膜厚測定に対応
■ 高分解能検出器の採用により、厚膜にも対応。(膜厚測定範囲：0.8～250μm) ■ 顕微反射スペクトル測定により、測定を高速・高精度で実現 ■ 大型ステージ、搬送システムにも対応可能
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| 【 膜厚測定 】 エリプソパラメータ測定、多層膜厚解析、光学定数解析などによリ、超薄膜の詳細な解析に対応 |
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| ●分光エリプソメータ FE-5000 ■ 紫外可視（250～800nm）の波長領域でのエリプソパラメータ測定に対応
■ ナノメータオーダーの多層薄膜の膜厚解析が可能 ■ 反射角度可変測定により、薄膜の詳細な解析に対応 ■ 多層膜フィッティング解析による光学定数測定による膜厚・膜質管理が可能
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| 【 FTIRガス分析装置 】 現場で簡単に測定可能な高精度プロセス用ガス連続モニター |
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| ●工業用ガス分析装置 IG series ■ 現場で誰にでも簡単にガス成分分析が可能なプロセス用ガス連続モニター
■ 豊富なガスセルによりppbから%オーダーまで広い濃度範囲をカバー ■ エッチング装置のプロセス評価、CVDチェンバー内のクリーニングプロセスの 最適化、除害装置の性能評価などに最適
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